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发明名称 High-power pulsed magnetron sputtering
摘要
申请公布号 AU2003278984(A8) 申请公布日期 2004.04.23
申请号 AU20030278984 申请日期 2003.09.26
申请人 ZOND, INC. 发明人 ROMAN CHISTYAKOV
分类号 C23C14/35;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35;C23C14/46 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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