发明名称
摘要
申请公布号 JP2004512682(A) 申请公布日期 2004.04.22
申请号 JP20020537041 申请日期 2001.07.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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