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发明名称
摘要
申请公布号
JP2004512682(A)
申请公布日期
2004.04.22
申请号
JP20020537041
申请日期
2001.07.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/306
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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