| 发明名称 |
MEASUREMENT OF SEMICONDUCTOR RESISTIVITY PROFILES BY MEASURING VOLTAGES,CALCULATING APPARENT RESISTIVITIES AND APPLYING CORRECTION FACTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3487301(A) |
申请公布日期 |
1969.12.30 |
| 申请号 |
USD3487301 |
申请日期 |
1968.03.04 |
| 申请人 |
INTERN. BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
EDWARD E. GARDNER;EDWARD F. GOREY;PAUL A. SCHUMANN JR.;TSU-HSING YEH |
| 分类号 |
G01N27/04;G01R31/26;(IPC1-7):G01R27/14 |
主分类号 |
G01N27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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