发明名称 Polymerzusammensetzung und Rezistmaterial
摘要
申请公布号 DE69628996(T2) 申请公布日期 2004.04.22
申请号 DE1996628996T 申请日期 1996.12.13
申请人 WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES, LTD. 发明人 URANO, FUMIYOSHI;FUJIE, HIROTOSHI;OONO, KEIJI
分类号 G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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