| 发明名称 |
HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR MIKROMECHANISCHE VORRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59811004(D1) |
申请公布日期 |
2004.04.22 |
| 申请号 |
DE19985011004 |
申请日期 |
1998.10.26 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
FUNK, KARSTEN;FREY, WILHELM |
| 分类号 |
B81B3/00;G02B26/08;(IPC1-7):G02B26/08 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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