| 主权项 |
1.一种预防晶圆重复沈积之方法,适用于一机台,该方法包括下列步骤:侦测及判断是否送出一状态重设讯号;在一预定时间周期内,判断在该状态重设讯号送出之前,是否存在一卡匣卸载讯号;以及当该卡匣卸载讯号不存在时,则使该机台停止运作。2.如申请专利范围第1项所述之预防晶圆重复沈积之方法,其中当该卡匣卸载讯号存在时,则会回到侦测及判断是否送出该状态重设讯号之步骤。3.如申请专利范围第1项所述之预防晶圆重复沈积之方法,其中该预定时间周期可以调整。4.如申请专利范围第1项所述之预防晶圆重复沈积之方法,其中该状态重设讯号系半导体设备传输标准中的一事件识别856讯号。5.如申请专利范围第1项所述之预防晶圆重复沈积之方法,其中该状态重设讯号系半导体设备传输标准中的一事件识别1856讯号。6.如申请专利范围第1项所述之预防晶圆重复沈积之方法,其中该卡匣卸载讯号系半导体设备传输标准中的一事件识别51讯号。7.如申请专利范围第1项所述之预防晶圆重复沈积之方法,其中该机台系一沈积机台。8.一种预防晶圆重复沈积之方法,适用于一机台,该方法的特征为:当送出一状态重设讯号时,如果在一预定时间周期内,在该状态重设讯号之前,不存在一卡匣卸载讯号,则使该机台停止运作。9.如申请专利范围第8项所述之预防晶圆重复沈积之方法,其中当送出该状态重设讯号时,如果在该预定时间周期内,在该状态重设讯号之前,存在一卡匣卸载讯号,则会重设该机台。10.如申请专利范围第8项所述之预防晶圆重复沈积之方法,其中该预定时间周期可以调整。11.如申请专利范围第8项所述之预防晶圆重复沈积之方法,其中该状态重设讯号系半导体设备传输标准中的一事件识别856讯号。12.如申请专利范围第8项所述之预防晶圆重复沈积之方法,其中该状态重设讯号系半导体设备传输标准中的一事件识别1856讯号。13.如申请专利范围第8项所述之预防晶圆重复沈积之方法,其中该卡匣卸载讯号系半导体设备传输标准中的一事件识别51讯号。14.如申请专利范围第8项所述之预防晶圆重复沈积之方法,其中该机台系一沈积机台。图式简单说明:第1图绘示的是根据本发明一较佳实施例之预防晶圆重复沈积之方法的流程图。 |
