电极装置及其制作方法

摘要

本发明讲述了一种电极装置及其制作方法，它至少可用于一种需要进行构造的薄膜，它包括以下步骤：准备好需要进行构造的薄膜，在需构造的薄膜上面放上一种掩膜，对需构造的薄膜进行干蚀。本发明方法的特征在于，掩膜含有一种金属硅化物，金属氮化物或金属氧化物等。本发明还提供了用上述方法制作的电极装置。

主权项

1.电极装置(10)，具有：一个第一导电层(6)，其材料实际上不受化学干蚀的腐蚀作用，和至少一个在第一导电层(6)上准备好的第二导电层(7)，其材料通过化学干蚀至少有较小的腐蚀率，其特征在于，通过作为掩膜的第二导电层(7)，第一导电层(6)的没受到第二导电层保护的区域是被干蚀消除了的。