具有直立式洗净器的干蚀刻机台

摘要

一种具有直立式洗净器的干蚀刻机台主要是由一干蚀刻机台以及一直立式洗净器所构成。直立式洗净器与干蚀刻机台连接，此直立式洗净器主要由一清洗室、一烘干室、多个传输载具、一喷洒装置、一烘干装置、一清洗液体供应装置，以及一吹干气体供应装置所构成。其中，传输载具用以将玻璃基板由清洗室传输至烘干室，喷洒装置配置于清洗室中，其与清洗液体供应装置连接，以对玻璃基板进行清洗的动作，而烘干装置配置于烘干室中，其与吹干气体供应装置连接，以烘干清洗过后的玻璃基板。

主权项

1、一种具有直立式洗净器的干蚀刻机台，适于对一玻璃基板上的铝金属及其合金层进行蚀刻，并去除残留在该玻璃基板上的氯气及氯化物，该具有直立式洗净器的干蚀刻机台包括：一干蚀刻机台；一直立式洗净器，该直立式洗净器与该干蚀刻机台连接，其中该直立式洗净器包括：一清洗室；一烘干室，该烘干室与该清洗室连接；复数个传输载具，该些传输载具适于将该玻璃基板由该清洗室传输至该烘干室；一喷洒装置，配置于该清洗室中；一烘干装置，配置于该烘干室中。