发明名称 制造装置及旋转机的寿命预测方法
摘要 本发明的目的在于提供一种具有能够进行高灵敏度且稳定的高精度的寿命预测的旋转机的制造装置。在旋转机(3)中,在旋转机的振动的变动不同的位置配置有测定时间序列振动数据的加速度计(36a、36b)。借助频率解析装置(37),对由加速度计(36a、36b)所测定的时间序列振动数据进行频率解析。在时间序列数据记录部(5)中,根据经频率解析的时间序列振动数据,将与解析对象频率对应的特征量的变动制作成评价用诊断数据,并记录评价用诊断数据。用寿命判定单元(6),利用评价用诊断数据预测旋转机(3)的寿命。
申请公布号 CN1490527A 申请公布日期 2004.04.21
申请号 CN03160083.2 申请日期 2003.09.26
申请人 株式会社东芝 发明人 佐俣秀一;古畑武夫;牛久幸广;山本明人;中尾隆
分类号 F04C25/02;H01L21/00 主分类号 F04C25/02
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 段承恩;陈海红
主权项 1.一种制造装置,其特征在于具备:旋转机;被配置在上述旋转机的振动变动不同的位置,测定时间序列振动数据的多个加速度计;对由上述多个加速度计所测定的时间序列振动数据进行频率解析的频率解析装置;由经频率解析的时间序列振动数据,将与解析对象频率对应的振动的特征量的变动制作成评价用诊断数据,记录上述评价用诊断数据的时间序列数据记录部;以及利用上述评价用诊断数据,预测上述旋转机的寿命的寿命判定单元。
地址 日本东京都