| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR BPSG DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1409764(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.21 |
| 申请号 |
EP20020748178 |
申请日期 |
2002.07.16 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
MUKAI, KEVIN;CHANDRAN, SHANKAR |
| 分类号 |
H01L21/31;C23C16/40;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/40 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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