| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR DEPOSITING THIN FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1409763(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.21 |
| 申请号 |
EP20010996635 |
申请日期 |
2001.11.08 |
| 申请人 |
COMPAGNIE INDUSTRIELLE DES LASERS CILAS |
发明人 |
GREZES-BESSET, CATHERINE |
| 分类号 |
C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54;C23C16/52 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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