发明名称 Microelctronic device and method of its manufacture
摘要
申请公布号 GB2394359(A) 申请公布日期 2004.04.21
申请号 GB20040000117 申请日期 2002.06.05
申请人 * NATIONAL MICROELECTRONICS RESEARCH CENTRE 发明人 WILLIAM * LANE;PAUL * LAMBKIN
分类号 G01J5/20;(IPC1-7):G01J5/00 主分类号 G01J5/20
代理机构 代理人
主权项
地址