发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR HANDLING ARRANGED PART
摘要
申请公布号 EP1255285(A4) 申请公布日期 2004.04.21
申请号 EP20000954957 申请日期 2000.08.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 SHIDA, SATOSHI;KANAYAMA, SHINJI;SHIMIZU, TAKASHI;TAKAHASHI, KENJI;INUTSUKA, RYOJI;YOSHIDA, HIROYUKI
分类号 H01L21/00;H01L21/301;(IPC1-7):H01L21/301;H01L21/68;B65B15/04 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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