| 发明名称 | 具有光标尺的渐层遮光板曝光法的光罩及其侦测方法 | ||
| 摘要 | 一种具有光标尺的渐层遮光板曝光法的光罩及其侦测方法，于采用渐层遮光板曝光法的各个光罩的重合部位设置光标尺，其中光标尺的刻度必须随着重合部位的渐层程度增加，然后根据曝光显影后，具有重合部位的两光罩的光标尺清晰度来判定其接合状况是否标准。 | ||
| 申请公布号 | CN1490675A | 申请公布日期 | 2004.04.21 |
| 申请号 | CN02146322.0 | 申请日期 | 2002.10.18 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 黄淑义 |
| 分类号 | G03F7/20;G03F9/00;G02F1/13 | 主分类号 | G03F7/20 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王学强 |
| 主权项 | 1、一种具有光标尺的渐层遮光板曝光法的光罩，其特征在于：包括：复数个光罩，该些光罩分别具有一重合部位，其中该重合部位愈往外侧的曝光能量愈低；一光标尺设置于该些光罩的该重合部位中，其中该光标尺位于该重合部位的曝光能量高于50％的区域。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹科学工业园区新竹市力行2路1号 | ||