用于在大气压下产生低温等离子体的装置

摘要

本发明公开了一种用于在大气压下产生低温等离子体的装置，该装置包括：彼此相对的一对电极，该对电极间开一定距离，它们中的一个与电源相连，另一个接地；一对厚度为25um－10mm的电介质，该对电介质布置在电极的相对表面上，从而彼此相对，它们中的一个内有至少一个放电间隙；以及导体电极，该导体电极有至少一个尖端，该至少一个尖端布置在放电间隙内，其中，通过采用频带为50Hz－10GHz的脉冲直流电或交流电，同时在电极之间供给反应气体，从而由电源在电极之间施加1－100KV/cm的电场强度，以便由放电间隙引起空心阴极放电、毛细管放电或电荷高度积累。本发明能防止等离子体转变成电弧，从而产生稳定、高密度的低温等离子体。

主权项

1.一种用于在大气压下产生低温等离子体的装置，包括：彼此相对的一对电极，该对电极间开一定距离，它们中的一个与电源相连，另一个接地；一对电介质，该对电介质的厚度为25μm-10mm，布置在电极的相对表面上，以便彼此相对，在它们中的一个内有至少一个放电间隙；以及导体电极，该导体电极有至少一个尖端，该至少一个尖端布置在放电间隙内，其中，通过采用频带为50Hz-10GHz的脉冲直流电或交流电，同时在电极之间供给反应气体，从而由电源在电极之间施加1-100KV/cm的电场强度。