超窄带通光学薄膜滤光片及膜层厚度产生方法

摘要

本发明提供了一种超窄带通光学薄膜滤光片，包括在一光学玻璃衬底上，依次真空蒸镀由低折射率的无序性膜层与高折射率的无序性膜层交替叠层多次组成的底层薄膜、由高折射率的无序性膜层与中间折射率的无序性膜层交替叠层多次组成的中间层薄膜和由高折射率的无序性膜层与中间折射率的无序性膜层交替叠层多次组成的顶层薄膜。无序性膜层是由随机涨落的方法产生的。由于这种膜系大大地降低了对制备中各层涨落控制上的精度要求，它非常适合于对这类滤光片成品率的提高或对制备这类滤光片设备要求的降低，有利于制备高质量的超窄带通光学薄膜滤光片。

主权项

1.一种超窄带通光学薄膜滤光片，包括在一光学玻璃衬底(1)上，依次真空蒸镀底层薄膜(2)、中间层薄膜(3)、顶层薄膜(4)，其特征在于：底层薄膜是由低折射率的无序性膜层(5)与高折射率的无序性膜层(6)交替叠层多次真空蒸镀组成；中间层薄膜是由高折射率的无序性膜层(6)与中间折射率的无序性膜层(7)交替叠层多次真空蒸镀组成；顶层薄膜是由低折射率的无序性膜层(5)与高折射率的无序性膜层(6)交替叠层多次真空蒸镀组成。