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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING ETCH DEPTH
摘要
申请公布号 AU2003275221(A1) 申请公布日期 2004.04.19
申请号 AU20030275221 申请日期 2003.09.18
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 VIJAYAKUMAR, C. VENUGOPAL;TOM, A. KAMP;ALAN, J. MILLER
分类号 H01L21/00;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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