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发明名称 Small scale wires with microelectromechanical devices
摘要
申请公布号 AU2003290510(A8) 申请公布日期 2004.04.19
申请号 AU20030290510 申请日期 2003.06.26
申请人 CORNELL RESEARCH FOUNDATION, INC. 发明人 NOEL C. MACDONALD;KANAKASABAPATHI SUBRAMANIAN
分类号 B81C1/00;H01L21/20;(IPC1-7):B81C1/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
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