| 发明名称 |
EDDY CURRENT BASED MEASUREMENT CAPABILITIES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003267272(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.19 |
| 申请号 |
AU20030267272 |
申请日期 |
2003.09.15 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
YEHIEL GOTKIS;RODNEY KISTLER;ALEKSANDER OWCZARZ;DAVID HEMKER;NICOLAS, J. BRIGHT |
| 分类号 |
G01N27/02;H01L21/302;H01L21/461;(IPC1-7):G01N27/02;G01N27/90 |
主分类号 |
G01N27/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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