发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS |
摘要 |
|
申请公布号 |
AU2003266563(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.19 |
申请号 |
AU20030266563 |
申请日期 |
2003.09.22 |
申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
TAKAHIRO HORIGUCHI;RYO KUWAJIMA |
分类号 |
F16C3/02;C23C16/458;C23C16/46;F16C33/32;H01L21/00;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/68;H01L21/02 |
主分类号 |
F16C3/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|