| 发明名称 |
METHOD FOR DEPOSITING NITRIDE FILM USING CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS OF SINGLE CHAMBER TYPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003263633(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.19 |
| 申请号 |
AU20030263633 |
申请日期 |
2003.09.19 |
| 申请人 |
EUGENE TECHNOLOGY CO., LTD. |
发明人 |
PYUNG-YONG UM |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/34;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/768;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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