发明名称 Méthode pour contrôler le dopage d'un corps semiconducteur à croissance par vapeur
摘要
申请公布号 FR1308356(A) 申请公布日期 1962.11.03
申请号 FR19610882533 申请日期 1961.12.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/223 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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