| 摘要 |
本发明之目的在提供一种金属粉末之制造方法及制造装置，其可确实地抑制所生成之金属粉末粒子在还原程序之后产生凝集而成长为二次粒子，并且可稳定地获得凝集粒子等粗粉很少的金属粒子，因而可充分地满足近年来之电容器所要求的薄层化–多层化。具备有：将金属氯化物气体与还原性气体接触而使金属氯化物连续地还原之还原程序，及将包含有在还原程序产生的金属粉末以惰性气体进行冷却的冷却程序。在冷却程序中，将惰性气体从金属粉末的流过经路之周围的1处以上之地点吹出，而产生旋涡流。再者，在金属粉末之制造中，经常连续地沿着制造装置(还原程序、冷却程序)内部壁面之垂直方向上产生惰性气体流。可抑制产出之金属粉末之凝集及向二次粒子之成长，并且粗粉少且均匀的金属粉末可稳定地产生。 |
