发明名称 |
TRANSPORT SYSTEM WITH INTEGRATED TRANSPORT CARRIER AND DIRECTORS |
摘要 |
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申请公布号 |
HK1039104(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.16 |
申请号 |
HK20020100201 |
申请日期 |
2002.01.11 |
申请人 |
ASYST TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
BONORA, ANTHONY C.;GOULD, RICHARD H. |
分类号 |
B65G43/08;B65G19/02;B65G35/06;B65G37/02;H01L21/677;(IPC1-7):B65G |
主分类号 |
B65G43/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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