PROCEDIMIENTO DE DEPOSITO DE UNA CAPA A BASE DE OXIDO METALICO SOBRE UN SUSTRATO DE VIDRIO, Y SUSTRATO DE VIDRIO ASI REVESTIDO.

摘要

LA INVENCION SE REFIERE A UN PROCEDIMIENTO DE DEPOSITO DE UNA CAPA CON BASE DE OXIDO METALICO QUE CONTIENE FLUOR, EN PARTICULAR UNA CAPA DE OXIDO DE ESTAÑO DOPADO CON FLUOR SNO 2 :F (3) EN UN SUSTRATO DE VIDRIO (1) POR UNA TECNICA DE PIROLISIS EN FASE GASEOSA A PARTIR DE AL MENOS DOS PRECURSORES DE LOS QUE AL MENOS UNO ES UN PRECURSOR DE METAL Y EL OTRO UN PRECURSOR DE FLUOR. SEGUN LA INVENCION EL PRECURSOR DE FLUOR DE TRIFLUORURO DE NITROGENO NF 3 .