| 发明名称 |
Anisotroper Herstellungsprozess von Oxidschichten in einem Substratgraben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10149725(B4) |
申请公布日期 |
2004.04.15 |
| 申请号 |
DE20011049725 |
申请日期 |
2001.10.09 |
| 申请人 |
PROMOS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
CHU, YU-PING;CHU, YU-WEN |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/316;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L29/423;(IPC1-7):H01L21/336 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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