Positioniervorrichtung und Verfahren zur exakten Positionierung von optischen Halbleiterbauelementen auf einem Probenhalter,申请号DE20011010297-传众专利搜索

发明名称	Positioniervorrichtung und Verfahren zur exakten Positionierung von optischen Halbleiterbauelementen auf einem Probenhalter
摘要
申请公布号	DE10110297(B4)	申请公布日期	2004.04.15
申请号	DE20011010297	申请日期	2001.02.26
申请人	FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.	发明人	STENZEL, RALF;ROEHLE, HELMUT;STOLPE, HEIKO
分类号	G02B6/42;G05G15/04;(IPC1-7):G12B5/00;H01L21/66	主分类号	G02B6/42
代理机构		代理人
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