| 发明名称 |
Lineare Bewegungseinrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19823933(B4) |
申请公布日期 |
2004.04.15 |
| 申请号 |
DE19981023933 |
申请日期 |
1998.05.28 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
TAKAHASHI, HIROYUKI |
| 分类号 |
B65G49/07;H05K13/04;(IPC1-7):B65G25/02;G01R31/02;H01L21/66 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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