发明名称 |
Gaslaser, Belichtungsapparatur sowie Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Verwendung derselben |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69815980(T2) |
申请公布日期 |
2004.04.15 |
申请号 |
DE19986015980T |
申请日期 |
1998.09.30 |
申请人 |
CANON K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
SANO, NAOTO;NAGAI, YOSHIYUKI |
分类号 |
H01S3/036;(IPC1-7):H01S3/036 |
主分类号 |
H01S3/036 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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