| 发明名称 |
Verwendung einer gegen Fluor-Plasma beständigen Keramik aus Aluminiumoxid und Verfahren zu ihrer Herstellung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69629231(T2) |
申请公布日期 |
2004.04.15 |
| 申请号 |
DE19966029231T |
申请日期 |
1996.04.10 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
GUPTA, ANAND;TIRUNELVELI, S. RAVI |
| 分类号 |
F16J12/00;C04B35/10;C04B35/111;C23C16/44;H01L21/3065;(IPC1-7):C04B35/111 |
主分类号 |
F16J12/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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