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经营范围
发明名称
Verfahren und Vorrichtung zum Steuern der Ätzselektivität
摘要
申请公布号
DE10296328(T5)
申请公布日期
2004.04.15
申请号
DE20021096328T
申请日期
2002.01.25
申请人
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
发明人
LANSFORD, JEREMY S.;FAULK, LAURA
分类号
H01L21/3065;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
地址
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