发明名称 |
MONOCHROMATOR MIRROR FOR THE EUV-SPECTRAL RANGE |
摘要 |
Monochromatorspiegel für den EUV-Spektralbereich mit einer auf ein Substrat aufgebrachten Schichtanordnung, die eine periodische Abfolge von zwei eine Periode mit der Periodendicke d bildenden Einzelschichten (A,B) unterschiedlicher Materialien als Spacer-Schicht bzw. als Absorber-Schicht aufweist, so dass die Reflektivität der zweiten oder einer höheren Bragg-Ordnung verwendet wird und wobei d eine Grössenabweichung von höchstens plusminus 3% aufweist und wobei das Verhältnis der Schichtdicke der Absorber-Schicht zur Periodendicke kleiner ist als das Verhältnis von 0,8 zur verwendeten Ordnung der Bragg-Reflexion.
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申请公布号 |
WO03071317(A8) |
申请公布日期 |
2004.04.15 |
申请号 |
WO2003EP01842 |
申请日期 |
2003.02.21 |
申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;FEIGL, TORSTEN;KAISER, NORBERT;KUHLMANN, THOMAS;YULIN, SERGEY |
发明人 |
FEIGL, TORSTEN;KAISER, NORBERT;KUHLMANN, THOMAS;YULIN, SERGEY |
分类号 |
G02B1/00;G02B5/08;G02B5/26;G21K1/06;H01L21/027;(IPC1-7):G02B5/08 |
主分类号 |
G02B1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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