利用用于实时气体取样的等离子源的方法和装置

摘要

本发明多个方面提供创新的方法和装置，用于对气体取样，激发取样的气体以发射射线，并根据发射的射线实时检测发射光谱的多个波带。可根据所检测的波带，调节用于激发取样气体的能量。可根据检测的波带，实时控制过程。可利用创新的界面，以显示检测的部分波带。一基准气体的已知流量可包含在基准气体的流量中，并确定未知流量气体的未知流量。

主权项

1.一种用于得到在反应室中的过程数据的方法，包括：对在过程期间反应室外部的已通过反应室的气体取样，其中该气体扩散判激励室；通过利用至少一个外部电极激励取样的气体，以发射射线；及根据发射射线实时检测射线光谱中的多个波带。