具有宽输出电流工作范围的离子源

摘要

本发明提供用于离子源的一种衰减器。该离子源包括一等离子体室，在该室内由一激励器将一种气体电离以产生等离子体，通过等离子体室的开有隙缝部分内的至少一条隙缝抽取该等离子体。衰减器包括一位于室内、介于激励器和至少一条隙缝之间的一元件，该元件有对应该至少一条隙缝的至少一开口，并关于该至少一隙缝在第一位置和第二位置之间移动。

主权项

1.一种用于离子源(26)的衰减器，所述离子源包括一等离子室(76)，在该室内由一激励器(78)将一种气体电离以产生等离子体，通过所述等离子室的等离子体电极(50)内的至少一条隙缝(64)提取该等离子体以形成一离子束，所述衰减器包括：一衰减元件(90)，位于所述等离子室(76)内、介于所述激励器(78)和所述至少一条隙缝(64)之间，所述衰减元件具有至少一个对应于所述至少一条隙缝(64)的开口(97)，所述衰减元件可相对于所述至少一条隙缝在通常关闭位置之间移动；其中所述衰减元件和所述等离子体电极在其间形成一通常关闭区域(102)，使得所述等离子室(76)内的等离子体通过所述区域(102)扩散并通过所述隙缝被提取，并且其中，所述衰减元件和所述等离子体电极形成一通常打开区域(100)，使得所述等离子体室内的等离子体直接通过所述隙缝被提取。