压电型加速度传感器及其制造方法和加速度检测方法

摘要

加速度传感器201包括纵向效应型检测部203和横向效应型检测部204。纵向效应型检测部203包括由薄膜压电体211a和电极211b、211c构成的纵向效应型压电元件211。横向效应型检测部204设有横向效应型压电元件213，使其支撑在在底板105上形成的沟状凹部105a的上方附近。检测电路116根据纵向效应型检测部203和横向效应型检测部204两者的输出检测出规定方向上加速度等。因此，能够检测规定方向上的加速度并实现大动态范围和宽频带。

主权项

1、一种压电型加速度传感器，其特征在于，包括：具有第1压电体并输出与上述第1压电体的伸缩和剪切变形对应的电压的纵向效应型压电元件；具有第2压电体并输出与上述第2压电体的挠曲变形对应的电压的横向效应型压电元件；固定上述纵向效应型压电元件和上述横向效应型压电元件的传感器底板，并且，该传感器底板是在规定将包含传感器基板的平面作为X-Y平面的X-Y-Z的三维座标系时，上述纵向效应型压电元件被固定在将根据Z轴方向的加速度分量的电压，和将根据X-Y平面内方向的加速度分量的电压加上的电压输出的状态，并且上述横向效应型压电元件被固定在只输出根据Z轴方向的加速度分量的电压的状态的传感器底板；和根据上述纵向效应型压电元件和上述横向效应型压电元件的输出，输出与外加的加速度对应的检测信号检测装置。