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发明名称 WAFER TRANSPORT APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1407479(A2) 申请公布日期 2004.04.14
申请号 EP20020752504 申请日期 2002.07.12
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES INC. 发明人 KINNARD, DAVID;RICHARDSON, DANIEL
分类号 B25J9/06;B25J9/00;B25J9/04;B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
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