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发明名称 Ion implanter and beam stop therefor
摘要
申请公布号 GB2355337(B) 申请公布日期 2004.04.14
申请号 GB19990024179 申请日期 1999.10.12
申请人 * APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ROBERT JOHN CLIFFORD * MITCHELL;MICHAEL T * WAUK;JOHN * RUFFELL;HILTON * GLAVISH;PETER * KINDERSLEY
分类号 H01J37/244;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
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