发明名称 |
生产半导体器件的方法及相应的半导体器件 |
摘要 |
本发明提供了一种生产半导体器件的方法,所述方法包括以下步骤:在半导体衬底(10)上涂覆互连级(11,12);形成所述互连级(11,12)的结构;以及以焊料层(13)呈现出互连级(11,12)的结构的方式,在结构化的互连级(11,12)上涂覆所述焊料层(13)。本发明同样提供了这样一种半导体器件。 |
申请公布号 |
CN1489197A |
申请公布日期 |
2004.04.14 |
申请号 |
CN03155305.2 |
申请日期 |
2003.08.26 |
申请人 |
印芬龙科技股份有限公司 |
发明人 |
哈里·黑德勒;托尔斯滕·迈尔;芭芭拉·瓦斯克斯 |
分类号 |
H01L21/768;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/60;H01L23/52;H01L23/48 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
龚海军 |
主权项 |
1、一种生产半导体器件的方法,所述方法包括以下步骤:在半导体衬底(10)上涂覆互连级(11,12);形成所述互连级(11,12)的结构;以及以焊料层(13)呈现出互连级(11,12)的结构的方式,在结构化的互连级(11,12)上涂覆所述焊料层(13)。 |
地址 |
联邦德国慕尼黑 |