发明名称 生产半导体器件的方法及相应的半导体器件
摘要 本发明提供了一种生产半导体器件的方法,所述方法包括以下步骤:在半导体衬底(10)上涂覆互连级(11,12);形成所述互连级(11,12)的结构;以及以焊料层(13)呈现出互连级(11,12)的结构的方式,在结构化的互连级(11,12)上涂覆所述焊料层(13)。本发明同样提供了这样一种半导体器件。
申请公布号 CN1489197A 申请公布日期 2004.04.14
申请号 CN03155305.2 申请日期 2003.08.26
申请人 印芬龙科技股份有限公司 发明人 哈里·黑德勒;托尔斯滕·迈尔;芭芭拉·瓦斯克斯
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/60;H01L23/52;H01L23/48 主分类号 H01L21/768
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 龚海军
主权项 1、一种生产半导体器件的方法,所述方法包括以下步骤:在半导体衬底(10)上涂覆互连级(11,12);形成所述互连级(11,12)的结构;以及以焊料层(13)呈现出互连级(11,12)的结构的方式,在结构化的互连级(11,12)上涂覆所述焊料层(13)。
地址 联邦德国慕尼黑