用于样品椭圆偏振光二维显示的装置,显示方法及具有空间分辨率的椭圆偏振光测量方法

摘要

本发明涉及一种用于样品椭圆偏振光二维显示的装置，上述样品安放在一入射介质中，在通过会聚光反射交叉的分析器和偏振器之间观察，其中处理由样品和一个衬底所形成的组件的椭圆偏振参数，上述样品安放在衬底上。衬底包括一个基底和一个基底叠层，并且衬底的椭圆偏振性能已知。衬底的椭圆偏振性能是这样的，即可以在其对比度高于没有上述衬底所产生的对比度的情况下显示样品椭圆偏振参数的变化。本发明还涉及一种显示方法和一种具有空间分辨率的椭圆偏振测量方法。

主权项

1.一种用于样品椭圆偏振光二维显示的装置，包括一种物体，所述物体发放在一入射介质中，在一交叉反射会聚光的分析器和偏振器之间观察，其中对由上述物体和物体安放于其上的衬底组成的组件的椭圆偏振参数进行处理，其特征在于：衬底包括一个基底和一个叠层，并且它的椭圆偏振性能已知，衬底的椭圆偏振性能是这样，即由于物体以对比度大于没有衬底时产生的对比度来显示，所以样品的椭圆偏振参数发生变化。