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发明名称 LINE NARROWING UNIT WITH FLEXURAL GRATING MOUNT
摘要
申请公布号 EP1407521(A1) 申请公布日期 2004.04.14
申请号 EP20020744246 申请日期 2002.06.05
申请人 CYMER, INC. 发明人 TITUS, CLAY, C.;HULBURD, WILLIAM, G.;CYBULSKI, RAYMOND, F.;ALGOTS, JOHN, M.;LYSIK, MICHAEL, S.
分类号 H01S3/225;G03F7/20;H01S3/03;H01S3/034;H01S3/036;H01S3/04;H01S3/08;H01S3/081;H01S3/086;H01S3/0943;H01S3/1055;H01S3/13;H01S3/134;H01S3/137;H01S3/139;(IPC1-7):H01S3/08;H01S3/10;H01S3/105 主分类号 H01S3/225
代理机构 代理人
主权项
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