发明名称 良否判定装置、判定程序、方法以及多变量统计解析装置
摘要 一种良否判定装置、良否判定程序、良否判定方法以及多变量统计解析装置,利用成为良否判定主要因素的多个参数及其良否判定结果,计算出判别函数。在判别函数中,生成对于合格类与不合格类的直方图,并为了根据各类别中的标准偏差而得到按照意图的流出率及漏过率来决定阈值。通过基于该阈值判定良否判定对象的良否,能够按照意图控制流出率及漏过率,实现不需要积蓄技术技巧的高性能的良否判定。因此,解决了以往即使是利用判别分析、进行变量Z=0处的阈值判别,但如果不通过人的目测与实际的运用来积蓄技术技巧,就不进行允许实际应用的问题。
申请公布号 CN1488933A 申请公布日期 2004.04.14
申请号 CN03154395.2 申请日期 2003.08.21
申请人 丰田自动车株式会社;名古屋电机工业株式会社 发明人 井角康夫;平野恒
分类号 G01N21/88;H01L21/66;H05K3/34 主分类号 G01N21/88
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 李香兰
主权项 1.一种良否判定装置,其特征在于,设置有:从成为良否判定主要因素的多个参数信息与该良否判定结果信息、计算出给予分离合格类与不合格类的度数分布的变量的判别函数的判别函数计算装置,和对于所述合格类与不合格类的至少一方、计算出对于所述变量的分布中心与表示该分布宽度的分布指标的统计指标计算装置;基于分布中心与分布指标、对所述至少一方的类别中成为特定分布概率的所述变量值决定进行良否判定的阈值的阈值决定装置,和对于良否判定对象、取得所述多个参数信息的参数信息取得装置,和通过将该参数信息代入所述判别函数而得到的所述变量的值与所述阈值加以比较、来进行良否判定的良否判定装置。
地址 日本国爱知县