发明名称 | 抛光机 | ||
摘要 | 本发明抛光机可以均匀地把压力从上抛光片施加到容纳在载体通孔中的工件之上。该抛光机包括:多个围绕上抛光片的重心设置并夹在抛光片之间的载体。不绕自己的轴线回转的载体的圆周运动是分别独立地进行的。诸载体的承载的诸工件的重心同时移近上抛光片的重心也同时从重心处移开,且诸工件重心所移动的距离是相等的。 | ||
申请公布号 | CN1488470A | 申请公布日期 | 2004.04.14 |
申请号 | CN03157784.9 | 申请日期 | 2003.08.29 |
申请人 | 不二越机械工业株式会社 | 发明人 | 守屋纪彦;神田智树;小林拓实;锻治仓惇 |
分类号 | B24B39/06;H01L21/304 | 主分类号 | B24B39/06 |
代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 张民华 |
主权项 | 1.一种抛光机,它包括:一抛光诸工件上表面的上抛光片;一抛光诸工件下表面的下抛光片;使至少两抛光片之一的抛光片旋转用的装置;多个设置在所述上抛光片重心周围及夹在上、下抛光片之间的载体,每一载体具有容纳工件的一通孔;分别独立地使诸所述载体作圆形或摆动运动而不在它们自己的轴线上作回转的运行装置;控制所述运行装置的控制装置;从而,由诸载体的保持的诸工件的重心同时移近于所述上抛光片的重心处并同时从所述上抛光片移开,当诸所述载体作圆形或摆动运动时诸工件的重心移动距离是相等的。 | ||
地址 | 日本长野县 |