膜沉积期间的金属厚度的自动控制

摘要

一种在薄膜沉积期间于沉积室中自动控制金属薄膜的厚度的新方法。该方法包含产生射向沉积室中的在晶片上沉积的金属薄膜的X射线束，且探测该金属薄膜的X射线荧光。将依据该探测到的X射线荧光所确定的金属薄膜的厚度与该预设值相比较，若该所确定的厚度小于预设值时，即继续沉积，当该决定的厚度达到该预设值时则停止沉积。

主权项

1.一种监视在晶片上沉积金属薄膜的参数的方法，该方法包含的步骤为：在金属薄膜沉积期间于沉积室中产生射向晶片上的该金属薄膜的X射线束；以及探测该金属薄膜的X射线荧光以确定该金属薄膜的参数。