发明名称 Contact structure for a ferroelectric capacitor and method of manufactoring
摘要
申请公布号 EP1202332(A3) 申请公布日期 2004.04.14
申请号 EP20010121388 申请日期 2001.09.06
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SITARAM, ARKALGUD;DEHM, CHRISTINE;MAZURE-ESPEJO, CARLOS
分类号 H01L21/02;H01L21/768;H01L21/8246;H01L27/115;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/824 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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