发明名称 Ion source assembly
摘要
申请公布号 GB2357897(B) 申请公布日期 2004.04.14
申请号 GB20000024563 申请日期 2000.10.06
申请人 * APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 THEODORE * SMICK;MARVIN * FARLEY;GEOFFREY * RYDING;SHU * SATOH;PETER * ROSE
分类号 C23C14/48;H01J27/02;H01J27/08;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/02 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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