| 主权项 |
1.一种具有喷砂处理表面之石英物件,其系藉提供一喷砂表面及清洁该表面制得,其中自该表面于1CF(立方英尺)所产生之粒子数目,特定为尺寸为0.2或以上而小于0.3m粒子数目为30或以下,尺寸为0.3或以上而小于0.5m粒子数目为60或以下,尺寸为0.5或以上而小于1.0m粒子数目为60或以下,而尺寸为1.0m或以上粒子数目为10或以下。2.一种清洁具有喷砂处理表面石英物件之方法,其中该石英物件系于清洁度为1,000或更低环境下清洁,该方法包括步骤为:.进行包含以下刷洗清洁步骤之适当组合:.于3到10% HF溶液中刷洗清洁;.于3到10%硝酸溶液中刷洗清洁;及.于有机溶剂内刷洗清洁;.刷洗清洁步骤后于纯水内超音波清洁;及.超音波清洁步骤后之乾燥。3.一种清洁具有喷砂处理表面石英物件之方法,其中该石英物件系于清洁度为1,000或更低环境下清洁,该方法包括步骤为:.轮流于HF溶液及硝酸溶液中进行刷洗清洁;.轮流于纯水及有机溶剂中进行刷洗清洁;.刷洗清洁步骤后于纯水中超音波清洁;及.超音波清洁步骤后之乾燥。4.一种清洁具有喷砂处理表面石英物件之方法,其中该石英物件系于清洁度为1,000或更低环境下清洁,该方法包括步骤为:.进行包含以下之清洁与湿润制程:.第一制程:于3到10% HF溶液中刷洗清洁;.第二制程:以纯水湿润;.第三制程:于3到10%硝酸溶液中刷洗清洁;.第四制程:以纯水湿润;.第五制程:于超纯水中超音波清洁;.第六制程:于有机溶剂中刷洗清洁;.第七制程:于超纯水中刷洗清洁;.第八制程:于超纯水中超音波清洁;及.于清洁及湿润制程后乾燥。5.如申请专利范围第2.3及4项中任一项之清洁具有喷砂处理表面石英物件之方法,其尚包含步骤为:于清洁步骤前,测量该喷砂后表面粗糙度;制备具有刷毛长度不超过喷砂后表面不均匀区一凸起到次一凸起间间隔之刷具;以该制得刷具进行清洁步骤。6.如申请专利范围第4项之清洁具有喷砂处理表面石英物件之方法,其中该于超纯水中清洁步骤包含5分钟或更长长度之刷洗清洁,且在溢流条件下15分钟或更长长度之超音波清洁。7.如申请专利范围第4项之清洁具有喷砂处理表面石英物件之方法,其中在各项第一,第三,及第六制程中所进行之刷洗清洁时间长度为3分钟或更长。8.如申请专利范围第4项之清洁具有喷砂处理表面石英物件之方法,其中在第六制程之有机溶剂内刷洗清洁制程包含轮流于以丙酮及乙醇为有机溶剂之清洁。图式简单说明:图1所示为所用石英物件具体实例示意图。图2所示为清洁石英物件前半部制程示意图。图3所示为清洁石英物件后半部制程示意图。 |
