| 主权项 |
1.一种表面状态检查方法,其特征为执行下述步骤:在自仰角不同之多数方向对检查对象物照射各不相同之色彩光之照明状态下,对自前述检查对象物之反射光进行摄影;对藉前述摄影得出之影像,就含有检查对象物之影像之影像领域内之每个像素,根据各色成份强度之关系选择执行自对应各色彩光之色成份中抽出强度最大之1个色成份之处理,或抽出强度最大之色成份和强度次大之色成份之处理之两种处理之一;及利用显示前述影像领域有关之色成份之抽出处理结果之影像资料以检查前述检查对象物之表面状态。2.如申请专利范围第1项之表面状态检查方法,其中来自前述多数方向之色彩光系为红、绿、蓝之各色彩光,抽出前述色成份之处理之步骤另包括求出各色成份强度之平均値之步骤和抽出各色成份中高于前述平均値之1或2个色成份之步骤。3.如申请专利范围第1或第2项之表面状态检查方法,其中前述检查对象物之表面状态之检查步骤另包括:在执行色成份之抽出处理步骤后之前述影像领域内,根据前述抽出之色成份之种类及组合,将该领域内之各像素分群之步骤;和根据属于各群之像素之分布状态,判别前述检查对象物之表面状态之适当与否之步骤。4.一种表面状态检查方法,其特征为执行下述步骤:在自仰角不同之多数方向对检查对象物照射各不同色彩光之照明状态下,对来自前述检查对象物之反射光进行摄影;对藉前述摄影得出之影像,就含有检查对象物之影像之影像领域内之每个像素,比较对应既定色彩光之色成份与阶段设定多数临界値;及对应前述各像素之相关比较结果以检查前述检查对象物之表面状态。5.一种基板检查装置,其特征为为具备:发射不同色彩光之多数光源配备在对检查对象之基板各成不同仰角之方向上而成之照明装置;用于对来自前述基板之反射光摄影之摄影装置;使前述照明装置之各光源点灯之状态下,取入藉前述摄影装置产生之影像之影像输入装置;对藉前述影像输入装置取入之影像,就含有检查对象物之影像之影像领域内之每个像素,根据各色成份强度之关系选择执行自对应各光源之色成份中抽出强度最大之1个色成份之处理,或抽出强度最大之色成份和强度次大之色成份之处理之两者处理之一之色成份抽出装置;利用前述色成份抽出装置执行处理后之前述影像领域内之影像资料,判别前述检查对象物之表面状态之适当与否之判别装置;及输出前述判别装置所作之判别结果之输出装置。6.如申请专利范围第5项之基板检查装置,其中前述照明装置具备分别发射红、绿、蓝各色彩光之三种光源,前述色成份抽出装置另包含算出对前述各光源之色成份强度之平均値之装置和抽出高于算出之平均値之1或2个色成份之装置。7.如申请专利范围第5或第6项之基板检查装置,其中前述判别装置,另包含就前述色成份抽出装置所作之处理后之前述影像领域,根据前述抽出之色成份之种类及组合,将该领域内之各像素分群之装置,并根据属于各群之像素之分布状态,判别前述检查对象物之表面状态之适当与否。8.一种基板检查装置,其特征为具备:将发射不同色彩光之多数光源配备在对检查对象之基板各成不同仰角之方向上而成之照明装置;用于对来自前述基板之反射光进行摄影之摄影装置;使前述照明装置之各光源点灯之状态下,取入藉前述摄影装置产生之影像之影像输入装置;对被前述影像输入装置取入之影像,就含有检查对象物之影像之影像领域内之每个像素,根据各色成份强度之关系选择执行自对应各光源之色成份中抽出强度最大之1个色成份之处理,或抽出强度最大之色成份和强度次大之色成份之处理之两种处理之一之色成份抽出装置;显示前述色成份抽出装置抽出之各色成份之影像之显示装置,及针对藉前述显示装置显示之影像,接收表示良否之判别结果之资料之输入之输入装置。9.一种基板检查装置,其特征为具备:将发射不同色彩光之多数光源配备在对检查对象之基板各成不同仰角之方向上而成之照明装置;用于对来自前述基板之反射光进行摄影之摄影装置;使前述照明装置之各光源点灯之状态下,取入前述摄影装置所产生之影像之影像输入装置;对被前述影像输入装置取入之输入影像,就含有检查对象物之影像领域内之每个像素,比较对应既定光源之色成份与阶段设定之多数临界値之比较装置;利用前述各像素相关之比较结果,判别前述检查对象物之表面状态之适当与否之判别装置;及输出前述判别装置所作之判别结果之输出装置。图式简单说明:第1图系为示出本发明之一个实施例有关之基板检查装置之构成之方块图。第2图系示出焊锡面之倾斜角度和各色成份之灰度之关系之曲线。第3(1)、3(2)图系为示出色成份之抽出处理方法之说明图。第4图系为示出藉5色之色领域区分倾斜面之状态之说明图。第5图系为示出教示时之步骤之流程图。第6图系为示出教示时之步骤之流程图。第7(1)、7(2)图系为示出对相同色彩之侦测范围,设定多数临界値之检查对象例之说明图。第8图系为示出以往之基板检查装置之光学系之构成之说明图。第9图系为示出第8图之光学系执行认识处理之原理之说明图。第10图系为示出第8图之光学系执行认识处理之原理之说明图。第11图系为示出藉第8图之光学系观测陡峭之倾斜面之情形时之结果之说明图。 |
