主权项 |
1.一种奈米级电解、电铸的方法,包含下列步骤: a.将一奈米碳管装置在复数轴进给装置的工作端; b.将金属工件泡在电解液中; c.连接一脉冲电路,将脉冲电路轮出端的两极分别 连接到奈米碳管与金属工件上; d.藉由操作进给装置的移动,使奈米碳管的尖端接 件金属工件表面,并使奈米碳管的尖端根据加工所 需的路径进行移动;以及 e.藉由控制脉冲电路输出电压(-3V~+3V)、脉冲频率(1 亿Hz-100亿Hz)与脉冲宽度(1奈秒~1p(10-12)秒),使电解 或电铸加工的电化学反应能发生在一适当位置,并 控制该位置发生电化学反应的原子数量在每次脉 冲时转移数十到数千个原子。2.一种奈米级电解 、电铸的装置,系包括: 一金属工件,系浸泡在电解液中; 一复数轴进给装置,以对该金属工件的各部位进行 加工; 一奈米碳管,系装置在该复数轴进给装置的工作端 ;以及 一脉冲电路,其输出端之两极分别连接在该奈米碳 管与金属工件上。3.如申请专利范围第2项所述之 奈米级电解、电铸的装置,其中,装置该奈米碳管 的进给装置之进给位置解析度小于1奈米。4.如申 请专利范围第2项所述之奈米级电解、电铸的装置 ,其中,该脉冲电路系以1亿Hz以上的高频进行工作 。图式简单说明: 图一为本发明之结构分布示意图。 |