发明名称 奈米级电解、电铸的方法及其装置
摘要 一种奈米级电解、电铸的方法及其装置,系将奈米碳管装置在进给位置解析度小于1奈米的复数轴进给装置上,并以高频率的脉冲电路供应奈米碳管的电流,使能控制每次脉冲电化学反应的原子移转数量,而达成直接于金属工件上完成尺寸解析度在数奈米的去除或堆叠的加工制作。
申请公布号 TW583138 申请公布日期 2004.04.11
申请号 TW091137413 申请日期 2002.12.26
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 古有彬;吴进发
分类号 C01B31/00;C25D1/02 主分类号 C01B31/00
代理机构 代理人
主权项 1.一种奈米级电解、电铸的方法,包含下列步骤: a.将一奈米碳管装置在复数轴进给装置的工作端; b.将金属工件泡在电解液中; c.连接一脉冲电路,将脉冲电路轮出端的两极分别 连接到奈米碳管与金属工件上; d.藉由操作进给装置的移动,使奈米碳管的尖端接 件金属工件表面,并使奈米碳管的尖端根据加工所 需的路径进行移动;以及 e.藉由控制脉冲电路输出电压(-3V~+3V)、脉冲频率(1 亿Hz-100亿Hz)与脉冲宽度(1奈秒~1p(10-12)秒),使电解 或电铸加工的电化学反应能发生在一适当位置,并 控制该位置发生电化学反应的原子数量在每次脉 冲时转移数十到数千个原子。2.一种奈米级电解 、电铸的装置,系包括: 一金属工件,系浸泡在电解液中; 一复数轴进给装置,以对该金属工件的各部位进行 加工; 一奈米碳管,系装置在该复数轴进给装置的工作端 ;以及 一脉冲电路,其输出端之两极分别连接在该奈米碳 管与金属工件上。3.如申请专利范围第2项所述之 奈米级电解、电铸的装置,其中,装置该奈米碳管 的进给装置之进给位置解析度小于1奈米。4.如申 请专利范围第2项所述之奈米级电解、电铸的装置 ,其中,该脉冲电路系以1亿Hz以上的高频进行工作 。图式简单说明: 图一为本发明之结构分布示意图。
地址 新竹县竹东镇中兴路四段一九五号