| 主权项 |
1.一种彩色滤光片,其特征为:具备有 拥有遮光区域及依据上述遮光区域所区划出的透 过区域的像素区域; 位于上述像素区域之外的弹着精度试验用区域; 被设置在上述遮光区域的第1遮光层; 被设置于上述透过区域的色要素; 被设置于上述弹着试验用区域的第2遮光层;和 至少将上述第2遮光层予以覆盖地被设置在上述弹 着精度试验用区域的弹着精度试验用层, 于上述弹着精度试验用区域上设置有藉由上述第2 遮光层所区划出之评定区域。2.如申请专利范围 第1项所记载之彩色滤光片,其中,包含有堤层,上述 堤层是设置在被设置于上述像素区域的上述第1遮 光层上。3.如申请专利范围第1项或第2项所记载之 彩色滤光片,其中,被设置于上述弹着精度试验用 区域的上述第2遮光层,是具有与被设置于上述像 素区域的上述第1遮光层相同的图案。4.如申请专 利范围第1项或第2项所记载之彩色滤光片,其中,于 上述弹着精度试验用区域中,设置有游标层。5.如 申请专利范围第4项所记载之彩色滤光片,其中,上 述游标层是被设置在上述评定区域内之规定位置 上。6.如申请专利范围第4项所记载之彩色滤光片, 其中,上述游标层是由与上述第2遮光层相同的材 料所构成。7.如申请专利范围第1项或第2项所记载 之彩色滤光片,其中,在被设置在上述弹着精度试 验用区域的上述弹着精度试验用层上,形成有凸状 层。8.一种液滴材料弹着精度之测定方法,其特征 为:使用申请专利范围第1项至第6项中之任一项所 记载之彩色滤光片,在上述弹着精度试验区域中, 使液滴材料弹着于上述弹着精度试验用层上,而形 成凸状层。9.一种彩色滤光片用液滴材料弹着精 度试验基板,其特征为:包含有 含有遮光层和至少将该遮光层予以覆盖而所形成 之弹着精度试验用层的弹着精度试验用区域, 于上述弹着精度试验用区域上,设置有藉由上述遮 光层而所区划出的评定区域。10.如申请专利范围 第9项所记载之彩色滤光片用液滴材料弹着精度试 验基板,其中,又设置有游标层。11.如申请专利范 围第9项或第10项所记载之彩色滤光片用液滴材料 弹着精度试验基板,其中,上述游标层是被设置在 上述评定区域内之规定位置上。12.如申请专利范 围第10项所记载之彩色滤光片用液滴材料弹着精 度试验基板,其中,上述游标层是由与上述遮光层 相同的材料所构成。13.如申请专利范围第9项或第 10项所记载之彩色滤光片用液滴材料弹着精度试 验基板,其中,在上述弹着精度试验用层上,形成有 凸状层。14.一种液滴材料弹着精度之测定方法,其 特征为:使用申请专利范围第9项至第12项中之任一 项所记载之彩色滤光片用液滴材料弹着精度试验 基板,使液滴材料弹着于上述弹着精度试验用层上 ,而形成凸状层。15.一种彩色滤光片之制造方法, 其特征为:包含有 (a)在像素区域中,依据形成具有规定矩阵图案的第 1遮光层,设置含有该第1遮光层之遮光区域的工程; 在位于上述像素区域之外的弹着精度试验用区域 中,依据形成具有规定矩阵图案的第2遮光层,形成 藉由该第2遮光层所区划出之评定区域的工程; (b)于上述弹着精度试验用区域中,至少将上述第2 遮光层予以覆盖地形成弹着精度试验用层的工程; 及 (c)于上述像素区域中,依据于色要素形成区域形成 色要素,形成藉由上述遮光区域所区划出之透过区 域的工程。16.如申请专利范围第15项所记载之彩 色滤光片之制造方法,其中,上述工程(b)是在上述 弹着精度试验用区域中,形成上述弹着精度试验用 层,同时在上述像素区域中,形成堤层在上述第1遮 光层上的工程。17.如申请专利范围第15项或第16项 所记载之彩色滤光片之制造方法,其中,又包含有(d )在上述弹着精度试验用区域中,使液滴材料弹着 于上述弹着精度试验用层上,而形成凸状层。18.如 申请专利范围第15项或第16项所记载之彩色滤光片 之制造方法,其中,在上述工程(a)中,上述第1及第2 遮光层是在基板上形成金属层后,依据微影成像术 及蚀刻将该金属层予以图案制作而所形成。19.如 申请专利范围第15项或第16项所记载之彩色滤光片 之制造方法,其中,上述工程(a)是在上述弹着精度 试验用区域中,形成上述第2遮光层,同时在上述评 定区域内之规定位置形成游标层的工程。20.如申 请专利范围第16项所记载之彩色滤光片之制造方 法,其中,上述工程(b)是在上述像素区域中,形成感 光性树脂于上述第1遮光层上,之后,依据微影成像 术将该感光性树脂层树脂予以图案制作而形成上 述堤层的工程。21.如申请专利范围第15项或第16项 所记载之彩色滤光片之制造方法,其中,上述工程(c )是使用液滴材料喷头将液滴材料喷附在上述色要 素形成区域上而形成上述色要素的工程。22.一种 彩色滤光片用液滴材料弹着精度试验基板之制造 方法,其特征为:具备有 (a)依据形成具有规定之矩阵图案的遮光层,形成藉 由该遮光层所区划出之评定区域的工程,及 (b)依据至少将上述第2遮光层予以覆盖地形成弹着 精度试验用层,形成弹着精度试验用区域的工程。 23.如申请专利范围第22项所记载之彩色滤光片用 液滴材料弹着精度试验基板之制造方法,其中,于(c )上述弹着精度试验用区域中,包含有将液滴材料 弹着于上述弹着精度试验用层上,而形成凸状层的 工程。24.如申请专利范围第22项或第23项所记载之 彩色滤光片用液滴材料弹着精度试验基板之制造 方法,其中,在上述工程(a)中,上述遮光层是在基板 上形成金属层后,依据微影成像术及蚀刻将该金属 层予以图案制作而所形成。25.如申请专利范围第 22项或第23项所记载之彩色滤光片用液滴材料弹着 精度试验基板之制造方法,其中,上述工程(a)是形 成上述遮光层,同时在上述评定区域内之规定位置 形成游标层的工程。26.一种发光用基板,其特征为 :具备 拥有堤区域及藉由上述堤区域所区划出之发光区 域的像素区域; 位于上述像素区域之外的弹着精度试验用区域; 被设置于上述发光区域上的机能层;和 被设置于上述弹着精度试验用区域上的弹着精度 试验用层。27.如申请专利范围第26项所记载之发 光用基板,其中,上述机能层是被形成于一对电极 层之间。28.如申请专利范围第26项或第27项所记载 之发光用基板,其中,上述堤区域是顺序叠层第1绝 缘层及树脂层而所构成。29.如申请专利范围第28 项所记载之发光用基板,其中,上述弹着精度试验 用区域包含有第2绝缘层, 构成上述弹着精度试验用区域的上述第2绝缘层, 是被形成来自与在上述像素区域中构成上述堤区 域的上述第1绝缘层相同基体的高度,且具有相同 图案。30.如申请专利范围第26项或第27项所记载之 发光用基板,其中,上述像素区域及上述弹着精度 试验用区域各含有开关元件, 被形成于上述弹着精度试验用区域的开关元件和 被形成于上述像素区域的开关元件是具有相同构 造。31.如申请专利范围第26项或第27项所记载之发 光用基板,其中,于上述弹着试验用区域中,设置有 游标层。32.如申请专利范围第31项所记载之发光 用基板,其中,被形成于上述像素区域的开关元件 是包含有金属配线层, 上述游标层是被形成来自与上述金属配线层相同 基体的高度。33.如申请专利范围第26项或第27项所 记载之发光用基板,其中,在被设置在上述弹着精 度试验用区域上的上述弹着精度试验用层上,形成 有凸状层。34.一种发光用基板之液滴材料弹着精 度之测定方法,其特征为:使用申请专利范围第26项 至第33项中之任一项所记载之发光用基板,于上述 弹着精度试验用区域中,使液滴材料弹着于上述弹 着精度试验用层上,而形成凹状层。35.一种发光用 基板用之液滴材料弹着精度试验基板,其特征为: 包含有被形成于基板上的开关元件、被连接于上 述开关元件上的电极层、具有规定图案的堤绝缘 层及被形成于上述电极层上的弹着精度试验用层 。36.如申请专利范围第35项所记载之发光用基板 用之液滴材料弹着精度试验基板,其中,在上述基 板上被至有游标层。37.如申请专利范围第35项或 第36项所记载之发光用基板用之液滴材料弹着精 度试验基板,其中,上述游标层是由金属层所构成 。38.如申请专利范围第35项或第36项所记载之发光 用基板用之液滴材料弹着精度试验基板,其中,在 上述弹着精度试验用层上形成有凸状层。39.一种 液滴材料弹着精度之测定方法,其特征为:使用申 请专利范围第35项至第38项中之任一项所记载的发 光用基板用之液滴材料弹着精度试验基板,使液滴 材料弹着于上述弹着精度试验用层上,而形成凸状 层。40.一种发光用基板之制造方法,其特征为:包 含有 (a)在像素区域中,形成具有规定图案之堤区域的工 程; (b)在位于上述像素区域之外的弹着精度试验用区 域中,形成弹着精度试验用层的工程;及 (c)在上述像素区域中,依据在藉由上述堤区域所区 划出的区域上形成机能层,而形成藉由上述堤区域 所区划出之发光区域的工程。41.如申请专利范围 第40项所记载之发光用基板之制造方法,其中,又包 含有在(d)上述像素区域中,形成施加电荷于上述机 能层的一对电极层的工程。42.如申请专利范围第 40项或第41项所记载之发光用基板之制造方法,其 中,于上述工程(a)中,上述堤区域是依据在第1绝缘 层上叠层树脂层而所形成。43.如申请专利范围第 42项所记载之发光用基板之制造方法,其中,上述工 程(a)是包含有在上述像素区域中,形成第1绝缘层, 同时在上述弹着精度试验区域中,形成第2绝缘层 的工程, 将上述第1绝缘层和上述第2绝缘层形成来自相同 基体的高度,并且形成相同图案。44.如申请专利范 围第42项所记载之发光用基板之制造方法,其中,于 上述工程(a)中,上述树脂层是在上述像素区域中形 成感光性树脂层,之后,依据微影成像术予以图案 制作而所形成。45.如申请专利范围第42项所记载 之发光用基板之制造方法,其中,于上述工程(b)中, 上述弹着精度试验用层是在上述弹着精度试验用 区域中形成感光性树脂层,之后,依据微影成像术 予以图案制作而所形成。46.如申请专利范围第42 项所记载之发光用基板之制造方法,其中,是用相 同工程进行形成上述工程(a)中,形成上述树脂层之 工程,和在上述工程(b)中,形成上述弹着精度试验 用层之工程。47.如申请专利范围第40项或第41项所 记载之发光用基板之制造方法,其中,又包含有(e) 在上述像素区域及上述弹着精度试验用缺预中,各 形成具有相同构造之开关元件的工程。48.如申请 专利范围第40项或第41项所记载之发光用基板之制 造方法,其中,又包含有(f)在上述弹着精度试验用 区域中,使含有被滴材料的液滴弹着于上述弹着精 度试验用层上,而形成凸状层的工程。49.如申请专 利范围第40项或第41项所记载之发光用基板之制造 方法,其中,上述工程(a)是包含有在上述弹着精度 试验用区域中,形成游标层的工程。50.如申请专利 范围第49项所记载之发光用基板之制造方法,其中, 于上述工程(e)中,被设置在上述像素区域之上述开 关元件是含有金属配线层, 将上述游标层形成来自与上述金属配线层相同基 体的高度。51.如申请专利范围第40项或第41项所记 载之发光用基板之制造方法,其中,上述工程(c)是 使用液滴材料喷头将液滴材料喷附在藉由堤区域 所区划出的区域上而形成上述机能层的工程。52. 一种发光用基板用液滴材料弹着精度试验基板之 制造方法,其特征为:包含有 (a)将具有开关元件、电极层及规定图案的绝缘层 形成于基板上的工程;及 (b)于上述电极层上形成弹着精度试验用层的工程 。53.如申请专利范围第52项所记载之发光用基板 用液滴材料弹着精度试验基板之制造方法,其中, 上述工程(b)是将上述弹着精度试验用层形成于上 述电极层及上述绝缘层上的工程。54.如申请专利 范围第52项或第53项所记载之发光用基板用液滴材 料弹着精度试验基板之制造方法,其中,又包含有(c )使液滴材料弹着于上述弹着精度试验用层上,而 形成凸状层的工程。55.如申请专利范围第52项或 第53项所记载之发光用基板用液滴材料弹着精度 试验基板之制造方法,其中,上述工程(b)是形成感 光性树脂,之后,依据微影成像术予以图案制作而 形成上述弹着精度试验用层的工程。56.如申请专 利范围第52项或第53项所记载之发光用基板用液滴 材料弹着精度试验基板之制造方法,其中,上述工 程(a)是包含有在上述基板上形成游标层的工程。 57.一种光电装置,其特征为:包含有 申请专利范围第1项至第7项中之任一项所记载的 彩色滤光片; 与上述彩色滤光片隔着规定间隔而被配置的对向 基板;和 被配置于上述彩色滤光片和上述对向基板之间的 光电材料层。58.如申请专利范围第57项所记载之 光电装置,其中,上述光电材料层为液晶材料层。59 .一种光电装置,其特征为:包含有申请专利范围第 26项至第33项所记载之发光用基板, 构成上述发光用基板的上述机能层是可依据电致 发光而予以发光。60.一种电子机器,其特征为:包 含有申请专利范围第57项至第59项中之任一项所记 载的光电装置。61.一种彩色滤光片,其特征为:具 备有 拥有遮光区域及被上述遮光区域所包围之透过区 域的像素区域; 依据喷出液滴材料而被形成于上述透过区域上的 色要素; 与上述像素区域相邻而被配置,且具有遮光区域的 周边区域;及 被包含在上述周边区域,且依据被上述周边区域之 遮光区域包围而具有对应于上述透过区域形状之 形状的评定区域。62.一种彩色滤光片,其特征为: 具备有 拥有遮光区域及被上述遮光区域所包围之透过区 域的像素区域; 依据喷出液滴材料而被形成于上述透过区域上的 色要素; 与上述像素区域相邻而被配置,且具有遮光区域的 周边区域; 被包含在上述周边区域,且被上述周边区域之遮光 区域包围的评定区域;及 将上述评定区域予以覆盖而被设置在上述周边区 域,且具有不沾上述液滴材料之性质的层。63.一种 彩色滤光片,其特征为:具备有 拥有遮光区域及被上述遮光区域所包围之复数透 过区域的像素区域; 依据喷出液滴材料而被形成于上述透过区域上的 色要素; 与上述像素区域相邻而被配置,且具有遮光区域的 周边区域;和 被包含在上述周边区域,且被上述周边区域之遮光 区域包围的评定区域, 上述复数透过区域及上述评定区域是被排列。64. 一种发光用基板,其特征为:具备有 拥有区划区域及被上述区划区域所包围之发光区 域的像素区域; 依据喷出液滴材料而被形成在上述发光区域的机 能层; 与上述像素区域相邻而被配置的周边区域; 被包含在上述周边区域,且具有对应于上述发光区 域形状之形状的评定区域;及 将上述评定区域予以覆盖而被设置在上述周边区 域,且具有不沾上述液滴材料之性质的层。65.一种 发光用基板,其特征为:具备有 拥有区划区域及被上述区划区域所包围之复数发 光区域的像素区域; 依据喷出液滴材料而被形成在上述发光区域的机 能层; 与上述像素区域相邻而被配置,且具有遮光区域的 周边区域;及 被包含在上述周边区域,且具有对应于上述发光区 域形状之形状的评定区域, 上述复数发光区域及上述评定区域是被排列。66. 一种成膜方法,其特征为:具备有 在位于膜形成区域之外的弹着精度试验用区域中, 形成弹着精度确认用图案的工程; 在上述弹着精度试验用区域中,至少将上述弹着精 度确认用图案予以覆盖地形成弹着精度试验用层 的工程; 在对应于上述弹着精度试验用层上之上述弹着精 度确认用图案位置的位置上,依据喷出液滴材料而 形成凸状层的工程;及 根据上述弹着精度确认用图案及上述凸状层的相 对位置而评定弹着精度的工程。67.如申请专范围 第66项所记载之成膜方法,其中,上述弹着精度试验 用层是具有不沾上述液滴材料的性质。68.一种成 膜方法,其特征为:具备有 在位于膜形成区域之外的弹着精度试验用区域中, 形成弹着精度确认用图案的工程; 在上述弹着精度试验用区域中,至少将上述弹着精 度确认用图案予以覆盖地形成弹着精度试验用层 的工程; 在对应于上述弹着精度试验用层上之上述弹着精 度确认用图案位置的位置上上,依据喷出液滴材料 而形成复数凸状层的工程;及 根据上述复数凸状层的相对位置而评定弹着精度 的工程。69.如申请专范围第68项所记载之成膜方 法,其中,上述弹着精度试验用层是具有不沾上述 液滴材料的性质。70.一种成膜装置,其特征为:具 备有用以喷出液滴材料的喷嘴, 在位于膜形成区域之外的弹着精度试验用区域中, 形成弹着精度确认用图案, 在上述弹着精度试验用区域中,至少将上述弹着精 度确认用图案予以覆盖地形成弹着精度试验用层, 在对应于至少将上述弹着精度确认用图案予以覆 盖而所形成的上述弹着精度试验用层上的上述弹 着精度确认用图案位置的位置上,依据喷出自上述 喷嘴喷出液滴材料而形成凸状层, 根据上述弹着精度确认用图案及上述凸状层的相 对位置而评定弹着精度。71.如申请专利范围第70 项所记载之成膜装置,其中,上述弹着精度试验用 层是具有不沾上述液滴材料的性质。72.一种成膜 装置,其特征为:具备有 用以喷出液滴材料的喷嘴, 在位于膜形成区域之外的弹着精度试验用区域中, 形成弹着精度确认用图案, 在上述弹着精度试验用区域中,至少将上述弹着精 度确认用图案予以覆盖地形成弹着精度试验用层, 在对应于至少将上述弹着精度确认用图案予以覆 盖而所形成的上述弹着精度试验用层上的上述弹 着精度确认用图案位置的位置上,依据喷出自上述 喷嘴喷出液滴材料而形成复数凸状层, 根据上述复数凸状层的相对位置而评定弹着精度 。73.如申请专利范围第72项所记载之成膜装置,其 中,上述弹着精度试验用层是具有不沾上述液滴材 料的性质。图式简单说明: 第1图示模式性表示本发明之第1实施形态所涉及 之彩色滤光片的部分平面图。 第2图是模式性表示沿着第1图之A-A线之部分的部 分剖面图。 第3图(A)-(D)是模式性表示第1图及第2图所示之彩色 滤光片之制造工程的部分剖面图。 第4图(A)-(D)是模式性表示第1图及第2图所示之彩色 滤光片之制造工程的部分剖面图。 第5图是模式性表示藉由第3图及第4图所示之工程 所取得之彩色滤光片之部分平面图,放大第1图之A- A线附近的图示。 第6图是模式性表示本发明之第2实施形态所涉及 之彩色滤光片之部分平面图。 第7图是模式性表示沿着第6图之A-A线之部分的部 分剖面图。 第8图(A)-(D)是模式性表示第6图及第7图所示之彩色 滤光片之制造工程的部分剖面图。 第9图(A)-(D)是模式性表示第6图及第7图所示之彩色 滤光片之制造工程的部分剖面图。 第10图是模式性表示藉由第8图及第9图所示之工程 所取得之彩色滤光片之部分平面图,放大第6图之A- A线附近的图示。 第11图是模式性表示本发明之第3实施形态所涉及 之彩色滤光片用液滴材料弹着精度试验基板的部 分平面图。 第12图是模式性表示沿着第11图之A-A线之部分的部 分剖面图。 第13图是模式性表示藉由第3实施形态所涉及之彩 色滤光片用液滴材料弹着精度试验基板之制造工 程所取得之彩色滤光片之部分平面图,放大第11图 之A-A线附近的图示。 第14图是模式性表示作为本发明之第4实施形态所 涉及之光电装置之一例的液晶显示装置之剖面图 。 第15图是模式性表示作为本发明之第5实施形态所 涉及之光电装置之一例的EL显示装置之剖面图。 第16图是模式性表示第15图所示之发光用基板的剖 面图。 第17图(A)-(C)是模式性表示第16图所示之发光用基 板之制造工程的部分剖面图。 第18图(A)-(C)是模式性表示第16图所示之发光用基 板之制造工程的部分剖面图。 第19图是表示作为本发明之第6实施形态所涉及之 电子机器之一例的数位照相机之斜视图。 第20图(A)-(C)是表示本发明之第6实施形态所涉及之 电子机器之适用例,(A)为行动电话机,(B)为手表,(C) 为携带资讯机器。 第21图是模式性表示本发明之第7实施形态所涉及 之发光用基板液滴材料弹着精度试验基板的部分 平面图。 |
