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发明名称 PECVD ZUR ERZEUGUNG VON TAN-SCHICHTEN AUS TANTALHALOGENID-VORLÄUFERN
摘要
申请公布号 DE60004666(T2) 申请公布日期 2004.04.08
申请号 DE20006004666T 申请日期 2000.04.26
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 HAUTALA, J.;WESTENDORP, F.
分类号 C23C16/08;C23C16/14;C23C16/34;C23C16/448;C23C16/52;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):C23C16/34 主分类号 C23C16/08
代理机构 代理人
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